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国家“十一五”将重点发展17类新材料

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摘要 首先是硅基微纳电子材料。我国将发展2~3个满足100~45nm线宽集成电路需求的8英寸、12英寸硅单晶、晶片和外延片的高技术产业基地,形成年产3000t多晶硅的生产能力,以及进行6~8英寸SOI、SiGe/Si和应变硅材料示范工程建设。
出处 《炭素技术》 CAS CSCD 2005年第6期29-29,共1页 Carbon Techniques
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