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国家“十一五”将重点发展17类新材料
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职称材料
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摘要
首先是硅基微纳电子材料。我国将发展2~3个满足100~45nm线宽集成电路需求的8英寸、12英寸硅单晶、晶片和外延片的高技术产业基地,形成年产3000t多晶硅的生产能力,以及进行6~8英寸SOI、SiGe/Si和应变硅材料示范工程建设。
出处
《炭素技术》
CAS
CSCD
2005年第6期29-29,共1页
Carbon Techniques
关键词
新材料
SIGE/SI
示范工程建设
电子材料
集成电路
产业基地
生产能力
硅单晶
外延片
多晶硅
分类号
TN322.8 [电子电信—物理电子学]
TB3 [一般工业技术—材料科学与工程]
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炭素技术
2005年 第6期
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