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强流金属离子源技术与材料表面加工新进展

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摘要强流金属离子注入和等离子体薄膜沉积是高效率低成本的材料表面加工新技术,具有巨大的产业化前景.该技术可以大幅度直接提高材料表面性能、或在材料表面上生成各种结合紧密、性能优异的纳米微米尺度金属膜、碳化物膜、氧化物膜、氮化物膜以及类金刚石膜.

出处《中国科技成果》 2005年第24期55-55,共1页 China Science and Technology Achievements

关键词加工新技术材料表面金属离子源表面加工强流薄膜沉积金属离子注入产业化前景类金刚石膜等离子体

分类号 O484.1 [理学—固体物理] TS255.3 [轻工技术与工程—农产品加工及贮藏工程]

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