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数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用 被引量:1

Application of Data Mining in Data Analysis of Semiconductor Manufacture
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摘要 介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术,对生产线的生产率和成品率进行快速的预测。在出现产量突然降低时,使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因,然后就可对其采取有效的措施,从而满足高产量的要求。 The fast evaluation of productivity and yields of manufacturing line are made by rough sets data mining techniques. Timely predict the yield and quickly discover the root causes of low-yield are both very important. Data mining is used to meet the above demands.
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期23-25,共3页 Semiconductor Technology
基金 973项目(20002CB312202-03) 国家自然科学基金资助项目(60374005 60343002)
关键词 数据挖掘 半导体生产线 粗糙集 统计分析 data mining semiconductor manufacturing line rough set statistical analysis
  • 相关文献

参考文献1

  • 1MCDONALD C J. New tools for yield improvement inintegrated circuit manufacturing: Can they be applied to reliability?[J]. Microelectronics Reliability, 1999,39(5):731 - 739.

同被引文献2

引证文献1

二级引证文献1

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