3轴MEMS加速度计建立超低功耗标准

美国模拟器件公司（ADI）采用iMEMS技术推出了公司首个3轴加速度计产品——ADXL330。该款产品将MEMS传感器结构与信号调理电路集成在一起，功耗电流降低至200μA（20V电源电压条件下）。