加热式气压微传感器与电路集成技术

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摘要微传感器与电路集成技术是实现片上测试系统的关键技术之一。随着片上系统(SOC,Sys-tem-on-a-chip)技术的发展,如何将微传感器与电路集成在同一芯片上成为SOC与传感器领域的一个重要方向。本文介绍了加热式气压微传感器的工作原理、处理电路及其集成工艺方案。

作者张凤田唐祯安

机构地区大连理工大学电子工程系

出处《中国集成电路》 2006年第1期23-25,31,共4页 China lntegrated Circuit

关键词集成技术微传感器电路集成气压热式测试系统片上系统工作原理工艺方案处理电路

参考文献4

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中国集成电路

2006年第1期

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