摘要
采用355nm脉冲激光沉积(PLD)技术,以Li6.16V0.61Si0.39O5.36为靶材制备Li2O-V2O5-SiO2薄膜,考察了反应气氛压强、激光能量密度、基片温度等对薄膜结构和性质的影响。结果表明,随着基片温度升高及激光能量密度增大Li2O-V2O5-SiO2薄膜更致密,且室温离子电导率随之增大。在O2压强6.7Pa、激光能量密度12J/cm2和基片温度300℃条件下制备了室温离子电导率为4×10-7S/cm、离子迁移数接近1.0(tion>99.99%)、厚度均匀、无针孔和裂缝的非晶态Li2O-V2O5-SiO2薄膜。
出处
《材料热处理学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期16-19,共4页
Transactions of Materials and Heat Treatment
基金
国家自然科学基金项目(20083001)
河南科技大学人才科研基金项目(04015)
河南科技大学青年科研基金项目(2004QN010)