半导体薄膜等离子体滤波器的检测方法

半导体薄膜等离子体滤波器的检测方法属于热光伏技术领域。检测方法具体为：1）测量滤波器材料的带隙以下的红外反射光谱；2）用理论反射率公式拟合实验结果，得到滤波器的实际参数；3）通过这些参数和理论公式计算其透射率以及吸收率，以全面地检验滤波器的性能；4）对滤波器材料的生长参数进行筛选优化。本发明具有实质性特点和显著进步，由于薄膜材料是生长在衬底上或者是集成在热光伏器件中，薄膜层的反射率可以直接测量，而其透射率是不能直接测量的，因此本发明解决的主要问题是，既可以得到可靠的薄膜参数，又可以得到不能直接测量的滤波器性质。通过对滤波器性能的全面检测，可以对滤波器材料的生长参数进行筛选优化。