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SiC电子霍耳迁移率的计算 被引量:2

A Calculation of Electron Hall Mobility in SiC
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摘要 基于对自身能带结构的分析以及各向同性弛豫时间近似法,采用三椭球等能面、抛物线性简化,建立了适于模拟n型6H-SiC电子霍耳迁移率和霍耳散射因子的解析模型,精确描述了不同散射机制对于6H-SiC低场电子输运特性的影响.计算结果与实测值有很好的一致性. With analysis of conduction band structure and isotropic relaxation time approximation, an analytical model for the electron Hall mobility and Hall scattering factor of n-type 6H-SiC is proposed. The impact of different scattering mechanisms on the low field electron transport in 6H-SiC is illustrated clearly. Three ellipsoidal and parabolic constant energy surfaces simplification are used. The calculated results are in good agreement with physical measurements.
出处 《计算物理》 CSCD 北大核心 2006年第1期80-86,共7页 Chinese Journal of Computational Physics
基金 教育部重点(02074) 国防科技预研基金(51408010601DZ1032)资助项目
关键词 6H碳化硅 电子霍耳迁移率 霍耳散射因子 解析模型 6H-SiC electron Hall mobility Hall scattering factor analytical model
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献3

  • 1Mickevicius P,J Appl Phys,1998年,83卷,3161页
  • 2张玉明,物理学报,1997年,46卷,2215页
  • 3叶良修,小尺寸半导体器件的Monte Carlo模拟,1997年,318页

共引文献6

同被引文献4

引证文献2

二级引证文献1

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