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纳米蚀刻技术及其在20GHz频段SAW器件中的应用

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摘要纳米蚀刻技术及其在２０ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件中的应用阎永志利用纳米蚀刻技术可将图形做得非常精细（ｕｍ级），将在ＵＬＳＩ、高速ＦＥＴ、分布反馈式激光器和ＧＨｚ频段ＳＡＷ器件等领域获得应用。常规蚀刻过程中，抗蚀膜层必须有一定厚度，但较厚的抗蚀膜无法获得纳米...

作者阎永志

出处《压电与声光》 CSCD 北大核心 1996年第4期287-287,共1页 Piezoelectrics & Acoustooptics

关键词纳米蚀刻技术 SAW器件声表面波应用

分类号 TN650.5 [电子电信—电路与系统]

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压电与声光

1996年第4期

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