日本精工开发真空无尘高清洁度轴承

日本精工开发出面向半导体晶圆搬送机器人的轴承——“真空无尘环境用高清洁度轴承”，并将在2006年4月向市场推出角接触球轴承、四点接触球轴承和向心球轴承3种产品。该公司2004年推出了“真空无尘环境用N系列薄壁轴承”，与此前产品相比，该产品的脱气和微尘较少，而且润滑油的耐久性也较高，新产品进一步降低了脱气，提高了耐久性能。