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日本精工开发真空无尘高清洁度轴承
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摘要
日本精工开发出面向半导体晶圆搬送机器人的轴承——“真空无尘环境用高清洁度轴承”,并将在2006年4月向市场推出角接触球轴承、四点接触球轴承和向心球轴承3种产品。该公司2004年推出了“真空无尘环境用N系列薄壁轴承”,与此前产品相比,该产品的脱气和微尘较少,而且润滑油的耐久性也较高,新产品进一步降低了脱气,提高了耐久性能。
出处
《轴承工业》
2006年第1期40-40,共1页
bearing industry
关键词
球轴承
清洁度
空无
日本
新产品
机器人
半导体
耐久性
润滑油
环境
分类号
TH133.331 [机械工程—机械制造及自动化]
TH137 [机械工程—机械制造及自动化]
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轴承工业
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