EVG在中国的第一套“低温键合系统”落户中科院上海微系统与信息技术研究所（SIMIT）

EV Group-欧洲著名的微细加工与制造设备公司，近期在中国科学院上海微系统与信息技术研究所（SIMIT）成功安装了中国第一套微电子品圆“低温键合系统”。为此，SIMIT和EVG公司于2005年12月13日联合举办了“微细加工和制造技术研讨会”。