摘要
本文介绍了三种Langmuir探针在等离子体诊断中抗干扰的方法:积分平均技术———采用积分电路,有效抑制波动干扰,提高探针信噪比;滤波器———利用同轴电缆构成级连滤波器网络,消除射频源基频及谐频干扰;差分放大器———两根同轴电缆与差分放大器配合使用,消除由于同轴电缆电阻电容(RC)特性引起的诱导噪音。上述方法分别从抗干扰原理、抗干扰装置和实验结果三方面予以了说明,指出了目前使用Langmuir探针进行等离子体诊断时存在的问题,并提出了解决方案。
To eliminate perturbation and noises in diagnosing plasma with Lanmuir probe, different techniques, including adoption of either an integrate-and-dump circuit, or a cascade filter, or differential amplifiers, were tentatively reviewed with discussion focused on solution of realistic problems in plasma diagnosis.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期459-462,共4页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词
LANGMUIR探针
抗干扰
信噪比
Ⅰ-
Ⅴ特性曲线
Langmuir probe, Noise elimination, Signal-to-noise ratio, Ⅰ- Ⅴ characteristics curve