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结晶硅化物

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摘要硅单晶炉热系统装置，竖直式离子注入碳化硅高温退火装置，水平式离子注入碳化硅高温退火装置，一种用于单晶炉上的轴向集线器，用于减少硅单晶棒截断崩边的工具，……

出处《化工科技市场》 CAS 2006年第1期70-72,共3页 Chemical Technology Market

关键词硅化物结晶退火装置离子注入系统装置单晶炉碳化硅水平式集线器硅单晶

分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学] TG155 [金属学及工艺—热处理]

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