用准分子激光进行的高分辨光刻术

朝微电子学中高密度电路方向所作的努力，增长了人们对要求以高生产率生产精细分辨图型的各种各样高分辨光刻技术的兴趣。短波能改善分辨率，但需要进一步发展深紫外材料和工艺。