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干涉仪测量线性位移
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摘要
一台新型线性测量干涉仪的光学元件排列与其它一般干涉仪不同。这种新型装置没有Abbe误差,并且精度比以前的装置提高总计十倍。Abbe误差是通过使试验束跨在由探针所占据的测量轴上消除的。再者,干涉仪的静空气路程与待测距离成正比。
作者
张兵
出处
《激光杂志》
CAS
1988年第4期255-255,共1页
Laser Journal
关键词
线性测量
干涉仪
线性位移
新型装置
光学元件
试验束
误差
轴
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
TS941.2 [轻工技术与工程—服装设计与工程]
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激光杂志
1988年 第4期
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