摘要
加拿大微至（WZ）光电子有限公司研制开发的“干涉条纹数字分析系统”能够高精度数字分析干涉条纹，测量精度达到λ／20～λ／50，系统由图像采集卡、个人计算机、软件和软件加密狗组成，实时采集或输入干涉条纹，自动分析处理干涉条纹，输出检测报告，包括波面误差参数：峰谷值（P—V）误差、标准偏差（RMS）、赛德尔（Seidel）像差、光圈数（N）、局部光圈数（△N）。
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006年第2期53-53,共1页
Laser & Optoelectronics Progress
