摘要
加拿大微至(WZ)光电子有限公司研制开发的“干涉条纹数字分析系统”能够高精度数字分析干涉条纹,测量精度达到λ/20~λ/50,系统由图像采集卡、个人计算机、软件和软件加密狗组成,实时采集或输入干涉条纹,自动分析处理干涉条纹,输出检测报告,包括波面误差参数:峰谷值(P—V)误差、标准偏差(RMS)、赛德尔(Seidel)像差、光圈数(N)、局部光圈数(△N)。
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2006年第2期53-53,共1页
Laser & Optoelectronics Progress