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基于双玻璃晒架系统的对位精度的设计

The Design of Repeatable Positioning Accuracy Based on Glass-Glass-Frames
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摘要 分析了双玻璃晒架系统所具有的优越性能,通过大量实验,得出了所设计的双玻璃晒架系统能够实现底片吸附功能,而且重复对位精度达到±12.5μm,最后展望了双玻璃晒架的美好前景。 The advantages of glass-glass- frames are analyzed. The glass-glass -frames with the function oftbe negative absorption are designed and a conclusion that the repeatable positioning accuracy is + 12.5μm can be drawn after carrying out a lot of experiments. The great prospects of glass-glass- frames are forecasted in the final section.
作者 吴琼
出处 《印制电路信息》 2006年第2期23-25,共3页 Printed Circuit Information
关键词 图形转移 曝光机 双玻璃晒架 重复对位精度 graphic transitions exposure machine glass-glass-frames repeatable positioning accuracy
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