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美风险企业正在开发取代石英的硅振荡器

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摘要从事MEMS技术研发的美国风险企业，在与SEMICON Japan2005展会同期举行的“第9届SEMI微系统／MEMS专题研讨会”上，宣布正在开发硅振荡器。

出处《新材料产业》 2006年第2期83-83,共1页 Advanced Materials Industry

关键词振荡器开发企业风险 SEMICON MEMS技术石英硅专题研讨会微系统

分类号 TN752 [电子电信—电路与系统]

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新材料产业

2006年第2期

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