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磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究 被引量:2

Design of a Driver Circuit for Rotation of Micromachined Gyroscope
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摘要 介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计。经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础。 The principle of rotation of rnicrornachined gyroscope with magnetically levitated rotator is described, and a simulation is made on the rotating torque, A driver circuit for rotation of the mieromachined gyroscope is designed based on the simulation. Experimentation shows that the micromachined gyroscope can rotate fast and equa bly by rotation driving, which provides a foundation for further research of the gyroscope effect.
出处 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期111-113,117,共4页 Microelectronics
基金 国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2002AA745120) 国家自然科学基金资助项目(60402003) 上海市科委重大专项基金 教育部科学技术项目重大项目资助(0307)
关键词 磁悬浮转子 微陀螺 文氏桥 移相 正交驱动 Magnetically levitated rotator Micromachined gyroscope Wein Bridge Phase shift Quadratured drive
  • 相关文献

参考文献5

  • 1茅盘松,王修伦,吴绍夫.硅微型振动陀螺的设计[J].传感器技术,1995,14(5):29-31. 被引量:2
  • 2吴校生.磁悬浮转子微陀螺的设计制造及其特性研究[D]博士论文.上海交通大学,2004:19-34.
  • 3Sine wave generation techniques.National Semiconductor Application Note 263[EB/OL].www.national.com.1998.
  • 4Shearwood C,Ho K Y,Williams C B,et al.Development of a levitated micromotor for application as a gyroscope[J].Sensors and Actuators A:Physical,2000,83(1):85-92.
  • 5Williams C B,Shearwood C,Mellor P H,et al.Modeling and testing of a frictionless levitated micromotor[J].Sensors and Actuators A:Physical,1997,61(3):469-473.

共引文献1

同被引文献17

引证文献2

二级引证文献4

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