1：1分步重复投影光刻机
-
1吴耀才,陈旭南.0.8—1微米分步重复投影光刻机研制[J].LSI制造与测试,1996,17(6):7-11. 被引量：1
-
2制版、光刻、腐蚀与掩模工艺[J].电子科技文摘,1999(12):42-43.
-
3陈旭南.亚微米分步重复投影光刻机总体设计考虑的几个问题[J].微细加工技术,1999(1):25-30. 被引量：2
-
4谢传钵.分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究[J].光电工程,1996,23(4):65-72. 被引量：10
-
5吕晓真,田宏.分步重复投影光刻机同轴对准数据处理[J].微细加工技术,2000(1):41-44. 被引量：3
-
6陈世杰.分步重复投影光刻机套刻误差模型的研究[J].微细加工技术,1995(3):8-13. 被引量：1
-
7田宏.分步重复投影光刻机整机控制管理软件[J].光电工程,1998,25(3):32-36.
-
8陈伟明,田桐,王继红.0.8～1微米分步重复投影光刻机掩模库研制[J].微细加工技术,1997(1):21-25.
-
9胡松,陈伟明,姚汉民,刘业异.同轴对准系统及输出光强的机辅分析[J].电子工业专用设备,1998,27(4):9-13. 被引量：1
-
10微细加工技术与设备[J].中国光学,1999(6):62-64.
;
