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ASM300毫米外延设备首次进入中国大陆

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摘要 ASM Intemational N.V.于2006年2月12日在荷兰比尔图文市宣布其为全球首家将300mm外延设备销售到中国大陆的公司，预定于2005年第四季度运送的这台设备是由中国最大的半导体应用研究所之一的有色金属研究总院（GRINM）所订购。

出处《电子与封装》 2006年第2期46-47,共2页 Electronics & Packaging

关键词中国大陆外延设备有色金属 ASM 半导体

分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]

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电子与封装

2006年第2期

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