半导体集成电路器件生产废水处理工艺研究与应用

针对半导体集成电路器件生产产生的电镀废水、酸碱废水,对流量控制、pH值、药剂投加量、反应搅拌强度等进行研究,并提出合理的处理工艺,确保废水处理达标排放。