利用双频激光干涉仪检定座标镗床的定位精度

本文叙述了利用双频激光干涉仪在车间现场检测T4280光学座标镗床定位精度的检测方法和装置。对检测的各项主要误差进行了分析。提出了进一步提高检测精度的措施。