热丝CVD法沉积金刚石薄膜用灯丝研究现状及改进

热丝化学气相（CVD）法沉积全刚石具有其它沉积方法所无法比拟的优势而受到重视，然而在高温沉积过程中灯丝容易发生形变和挥发所带来的“污染”影响了金刚石沉积膜的质量，本文就热丝法中三种常用灯丝（钨丝、钼丝和铼丝）的高温行为的研究现状进行了综合评述。在此基础上，提出了钽丝表面包钨的新实验，以进一步指导热丝CVD法沉积高质量的金刚石。