我国首台具有自主知识产权的纳米激光尺研制成功

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摘要我国第1台利用自主科研成果研制的纳米量级激光测尺在清华大学完成。这台长不过30cm的小型激光尺，能够精确地测出物体在12-79nm之间的位移、膨胀和伸缩的变化情况。它的测量精度可以达到1根头发丝直径的11800,与传统测量仪器的精度相比提高了100倍以上，对于提高精密机械零部件的测量、加工精度，以及在保障桥梁、

出处《光机电信息》 2006年第2期63-63,共1页 OME Information

关键词纳米量级自主知识产权研制成功激光测量精度机械零部件清华大学科研成果测量仪器加工精度

分类号 TH741 [机械工程—光学工程] TN249 [电子电信—物理电子学]

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