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日本厂校合作成功首创高质量氮化铝单晶膜

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摘要 日本东京农科大学和日本轻金属公司合作,首先研发成功高质量氮化铝单晶膜生长技术,该成果为世界首创。据认为,这一成就为大批量生产氮化铝单晶薄膜开辟了道路。这种薄膜可用以开发代替现有发光装置和荧光灯的新光源。研究采用高纯度氯化铝进行氢化物气相外延生长(HVPE)工艺技术。
作者 余双人
出处 《精细与专用化学品》 CAS 2006年第3期37-37,共1页 Fine and Specialty Chemicals
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