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大容器的检漏技术
被引量：
3
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摘要
着重阐述大容器的检漏方法,即负压分流法、正压氢检漏法、正压充氦检漏法和负压采样法。
作者
曹辉玲
王树鹏
机构地区
北京真空电子技术研究所
出处
《真空电子技术》
2005年第6期61-65,共5页
Vacuum Electronics
关键词
大容器
检漏工程
前沿课题
质谱法
分类号
TB774 [一般工业技术—真空技术]
引文网络
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真空电子技术
2005年 第6期
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