STM电压脉冲法纳米超微加工机理的研究

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摘要ＳＴＭ电压脉冲法纳米超微加工机理的研究姚王非①齐小丁②胡小唐②（天津大学分析中心①，天津大学精密仪器工程系②，天津３０）纳米制造是纳米技术的核心，尤其是微细尺寸的加工，ＳＴＭ工作时，针尖与样品间距非常小（一般小于１ｎｍ），在两者之间施加非常小的电压，...

作者姚王非齐小丁胡小唐

机构地区天津大学分析中心天津大学精密仪器工程系

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期601-601,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词纳米超微加工 STM 电压脉冲法

1刘安伟,吉贵军,胡小唐,齐小丁.扫描隧道显微镜电压脉冲法加工产生纳米结构的研究[J].自然科学进展（国家重点实验室通讯）,1999,9(4):320-324. 被引量：3
2禹国强,胡小唐,刘安伟.一种实现纳米超微定位和超微加工的新方法[J].天津大学学报,1999,32(3):308-311.

电子显微学报

1996年第6期

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