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非接触表面轮廓测量仪的研制
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摘要
本文研究了一种始终使得光学测头处于焦点位置,以正交衍射光栅干涉位移传感器为位移测量系统,以压电陶瓷作为驱动部件的非接触表面轮廓测量仪,用于实现对零件表面粗糙度,波度,表面形状误差和尺寸的综合测量。论文着重介绍了该仪器的整体结构,测量原理及衍射光栅干涉计量系统的工作原理。
作者
邹华东
孙艳玲
谢铁邦
机构地区
华中科技大学仪器系
出处
《计量技术》
2006年第2期6-9,共4页
Measurement Technique
关键词
非接触测量轮廓仪
表面形貌
自动聚焦
正交衍射光栅干涉位移传感器
压电陶瓷驱动
分类号
TG839 [金属学及工艺—公差测量技术]
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