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图象反转技术
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作者
吴允弘
出处
《半导体杂志》
1990年第2期38-39,共2页
关键词
图象反转技术
集成电路
光刻胶
分类号
TN430.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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薛耀国,朱长纯,陈福山.
正胶铬板图象反转技术的研究[J]
.微电子学与计算机,1996,13(3):53-55.
被引量:1
2
李其忠.
邻重氮萘醌正性抗蚀剂图象反转技术[J]
.江南半导体通讯,1992,20(4):5-8.
半导体杂志
1990年 第2期
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