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NEC采用浸入式光刻开发出55nm工艺,预计2007年量产
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摘要
NEC电子公司开发出名为UX7LS的55nm节点工艺,采用了浸入式光刻和高k材料。该工艺可提供比65nm工艺在操作和待机模式下低十分之一的功耗。UX7LS是对65nm工艺的改进版本。通过将65nm工艺技术与高k薄膜结合,开发出了极限低功率LSI,该工艺将适于手机、移动消费类产品以及网络系统的LSI产品。
出处
《微纳电子技术》
CAS
2006年第3期159-159,共1页
Micronanoelectronic Technology
关键词
65nm工艺
NEC电子公司
浸入式
开发
光刻
预计
高K材料
待机模式
工艺技术
网络系统
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TP332 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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微纳电子技术
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