GCA8500SE光刻机套刻精度的误差分析和校正

本文就美国原ＧＣＡ公司生产的ＤＳＷ８５００ＳＥ光刻机套刻精度的误差分类，产生误差的原因以及校正方法进行了详细的讨论，通过这些叙述旨在对设备维修人员和工艺操作人员能够更好地使用设备，提高设备的性能起到抛砖引玉的作用。