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用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜

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摘要用于半导体、液晶显示器检查的欧林巴斯显微镜翁寿松（无锡市元件四厂无锡２１４００２）日本欧林巴斯公司是以生产各种显微镜为主的专业公司，同时还生产具有超精密机械技术的微型机器人、具有超高性能电子技术的超声波显微镜和具有超高精度光学技术的步进光刻机镜头。该...

作者翁寿松

机构地区无锡市元件四厂

出处《电子工业专用设备》 1996年第1期53-55,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词显微镜检查制造工艺

分类号 TH742.06 [机械工程—光学工程]

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电子工业专用设备

1996年第1期

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