多晶硅超自对准技术在双极超高速器件工艺中的研究

叙述了在硅双极型超高速工艺中研究使用的多晶硅超自对准技术（ＳＳＴ），通过对器件结构的比较，工艺特点的分析，进行了改善关键技术的探讨，并在我们现有基础条件下，开展了用ＳＳＴ研制晶体管的实验。