摘要
叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。
This paper describes a new micromachined servo accelarometer(MSA).Its principle and characteristics are compared with the magnetic and variable capacitance type accelarometers.The upper measuring limit of the micromachined servo accelarometer can reach to±500m/s2.It can withstand high shook over 50 000 m/s2.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第3期174-178,共5页
Piezoelectrics & Acoustooptics
关键词
加速度计
微机械
伺服
变电容
accelarometer
micromachining
servo
variable capacitance
