Nd/Fe多层膜中B离子注入的研究
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2黄旭光,汪河洲,佘卫龙,李庆行,余振新,金波,彭少麒.a-Si:H/a-SiN_x:H多层膜的皮秒时间分辨光致发光[J].物理学报,1991,40(10):1677-1682. 被引量:1
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3冯德军,开桂云,丁镭,袁树忠,董孝义.光纤布喇格光栅的多层膜分析方法[J].光通信技术,1999,23(4):278-281. 被引量:4
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4张同军.多层α-Si∶H/α-SiN_x∶H薄膜中氢含量的研究[J].电子科学学刊,1989,11(6):656-660.
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5胡又林.由多层膜组成的复合平面波导的导波场分布[J].武测科技,1992(1):42-48.
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6刘冰,龚正烈,姚素薇,郭鹤桐,袁华堂,张允什.半导体硅上电沉积Cu/Co层状薄膜[J].物理化学学报,1999,15(4):356-360. 被引量:5
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7廖克俊,王万录.光照后引起a-Si:H/a-SiN_x:H多层膜内应力变化的研究[J].半导体技术,1989,5(6):23-25.
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