静电振动马达

近年来,随着微电子机械发展的潮流,要求具有相匹配的小型马达.由于小型马达在加工、组装方面难度很大,故成为亟待解决的研究课题,对此,研究人员利用微机械技术对各种传动装置及其加工方法进行了尝试.其中,静电振动马达便是利用转子和定子间的静电力进行旋转的马达.结构简单、内装减速机构、具有高转矩一直为人们所期待,目前微机械用传动装置正处于研究之中.