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光学表面粗糙度研究的进展与方向(续) 被引量:5

Recent Development and Direction in Optical Surface Roughness Research
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摘要 在评述了研究表面粗糙度的重要性和紧迫性基础上,阐述了有关光学表面粗糙度概念的某些在介绍国外几家公司出售的几种典型表面粗糙度测试仪器技术特性的明了国内外这一领域研究的发展方向。最后概略地介绍了关于这一课题我们将要开展的部分工作。 Importances of developing optical surface roughness in many optical fields areemphasized in this artical. Some basic concept and specifications of noncontact surface profil-ers on several corporations are reviewed in detail. Development direction about surface rough-ness research and our next work is introduced in brief.
出处 《光学仪器》 1996年第2期35-41,共7页 Optical Instruments
关键词 表面粗糙度 轮廓仪 测试仪器 Surface Roughness, Profiler, Microsurface
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献3

  • 1单永模,仪器仪表学报,1989年,10卷,3期,241页
  • 2汤俊雄,中国激光,1988年,16卷,3期,156页
  • 3Huang C C,Opt Eng,1984年,23卷,4期

共引文献6

同被引文献24

引证文献5

二级引证文献23

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