硅衬底上外延CVD金刚石膜界面原子排列直接观察

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摘要硅衬底上外延ＣＶＤ金刚石膜界面原子排列直接观察尤力平＊高巧君（＊北京大学电镜室，北京大学物理系，北京１００８７１）ＣＶＤ金刚石膜作为新型功能材料以其独特的优异性能引起材料工作者极大的兴趣。近年来，异质外延ＣＶＤ金刚石单晶是国内外研究的热点之一，这是因...

作者尤力平高巧君

机构地区北京大学电镜室北京大学物理系

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期489-489,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词金刚石膜硅衬底界石异质外延

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电子显微学报

1996年第6期

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