薄膜厚度的EDS测量被引量：1

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摘要薄膜厚度的ＥＤＳ测量赵家政徐洮（中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室，兰州７３００００）在电镀膜、真空蒸发膜、表面处理膜、溅射膜、润滑转移膜等的扫描电子显微分析中，除观察其表面形貌外，还希望同时测得薄膜的厚度。薄膜厚度的测量，尽管有光学法［...

作者赵家政徐洮

机构地区中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期539-539,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词薄膜厚度 EDS 测量

同被引文献1

1黎爽,邓平晔,蔡锴,杨俊佼.一种提高扫描电子显微镜-能谱空间分辨率的方法[J].电子显微学报,2015,34(3):240-249. 被引量：3
2尹显东,彭大抗,黎德育.极低锡量镀锡板铬−磷复合钝化及其膜层性能[J].电镀与涂饰,2022,41(2):85-91.
3任飞旭,曲国峰,张鑫,韩纪锋,宋瑞强,刘星泉,陈蕾,颜筱宇,张艺蓉,冷强钟,刘吉珍.基于扫描电镜和能谱仪的薄膜表面形貌和厚度同时测量研究[J].分析科学学报,2023,39(3):355-360. 被引量：1

电子显微学报

1996年第6期

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