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JEM－100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修

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摘要ＪＥＭ－１００ＳＸ电镜真空控制电路的故障分析与检修施同舟可金星（第三军医大学中心实验室，重庆６３００３８）故障现象开机后，机械泵（ＲＰ）、空气压缩机等工作正常；但扩散泵（ＤＰ）不加热，预抽阀Ｖ２亦不打开，真空程序停滞在初开机状态。电路分析ＪＥＭ－１０...

作者施同舟可金星

机构地区第三军医大学中心实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期106-106,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词电镜 JEM-100SX 真空控制电路故障检修

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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电子显微学报

1996年第6期

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