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电镜、能谱仪故障四例的排除方法

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摘要电镜、能谱仪故障四例的排除方法刘伟（东北大学材料测试中心，沈阳１１０００６）一、ＥＭ－４００Ｔ电镜上使用的真空阀均是气阀。长年使用，气阀密封部位严重磨损，造成漏气，以至使真空气阀不能正常动作，造成电镜无法正常地运行。该电镜用了七只常闭气阀，三只常开气...

作者刘伟

机构地区东北大学材料测试中心

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1996年第6期598-598,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词电镜能谱仪故障维修

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学] TH830.7 [机械工程—精密仪器及机械]

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电子显微学报

1996年第6期

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