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工程微型机械

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摘要工程微型机械滇川编译电子制造工艺能在一块集成电路上产生一个数据存储装置或者一个化工厂．电子工业的发展依赖于其每１８个月在一块集成电路上使晶体管数翻一番的能力，这一趋势驱动着电子工业发生急剧变革。在不大于一张邮票的面积上制信上百万个微元件已经开始促成新...

作者滇川

出处《世界科学》 1996年第7期10-11,共2页 World Science

关键词工程微型机械微电子机械系统表面微细加工

分类号 TG669 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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10温树林.NiTi形状记忆薄膜的显微结构和力学性能(英文)[J].电子显微学报,2002,21(3):294-300. 被引量：3

世界科学

1996年第7期

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