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露点测定中气体压力对定量误差影响的探讨
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摘要
以我所使用的压缩空气为样气,运用压力与空气相对湿度关系的理论,论证了当气体实际压力较取样压力变化较大时(包括其他可测气体如氢气、氮气等),测定值与真实值会出现较大偏差,测定值需经换算才能代表真实值,由真实值确定能否满足使用需要。
作者
石洁
机构地区
电子工业部第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第5期58-60,共3页
Semiconductor Technology
关键词
压缩空气
露点
定量误差
偏差
半导体器件
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
1996年 第5期
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