氮碳薄膜反应溅射沉积过程的OES诊断

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摘要氮碳薄膜反应溅射沉积过程的ＯＥＳ诊断赵菁，王金国，康宁，王荣瑶，徐积仁（中国科学院物理研究所光物理实验室北京１０００８０）等离子体光发射谱（ＯＥＳ）作为一种实验的手段常用于等离子体薄膜沉积过程中气相物种及化学反应过程的诊断，它有助于对薄膜生长机理的了...

作者赵菁王金国康宁王荣瑶徐积仁

机构地区中国科学院物理研究所光物理实验室

出处《量子电子学》 CSCD 1996年第5期434-435,共2页

关键词氮碳薄膜等离子体光发射谱 OES 诊断沉积

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量子电子学

1996年第5期

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