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EeBES—40型电子束曝光机的图形生成系统
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摘要
介绍了美国瓦里安公司１９７９年研制的一种生产型电子束曝光机的光栅扫描方式，以及光栅扫描作图的图形生成系统和该系统的主要组成部件。
作者
卢维美
机构地区
中国科学院电工研究所
出处
《电子工业专用设备》
1996年第3期20-24,共5页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
电子束曝光机
光栅扫描
图形生成
带宽
位图
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
1996年 第3期
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