自动滴胶的新型光刻胶泵

本文介绍了一种新型光刻胶泵的工作原理及结构设计。这种新型光刻胶泵能够满足微细加工技术中对光刻涂胶工艺的要求。并对该泵的使用、调节等作了详细介绍。