运用SUPREM计算MOS结构阈电压的收敛问题探索

半导体集成电路工艺模拟软件ＳＵＰＲＥＭ在计算ＭＯＳ结构阈值电压时存在不收敛现象。本文分析了不收敛的现象，讨论了解决不收敛问题的途径，介绍了一种简单的方法。最后讨论了减小近似计算误差的方法。