摘要
一、前言 静电放电（ESD）对电路的损伤不是始于今日,而是当前集成电路不断向小型化（微米、亚微米）和新工艺（薄氧化层、窄PN结）发展,电路更易受到静电放电的影响,对电压和电能的承受能力下降而产生致命失效和潜在失效罢了。现在已有人把静电放电称之为“科技时代”之鼠。 从一组Motorola报导的数据足以看出静电放电对集成电路的危害之大: 1、对10周内生产的微处理器生产进行跟踪: 前三周:未用镀镍盒子进行老化时淘汰率为:40×10<sup>-n</sup>（n不公开）
出处
《洁净与空调技术》
CAS
1996年第3期10-14,共5页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
