摘要
有限元法是MEMS安全系统仿真的基本方法。以大型有限元仿真软件ANSYS/LS-DYNA为工具,应用动力学运动方程的直接积分方法(中心差分法)求解运动方程。对设计方案进行了说明。
Finite element method is a basic way on the emulation of MEMS S&A. With famous finite element emulation software, ANSYS/LS- DYNA we can solve motion equations by center difference method. At last, the design scheme of the MEM S&A is illuminated.
出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2006年第1期14-16,共3页
Journal of Detection & Control